Germania – Diverse utilaje de uz general şi special – Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P

Preis Technik Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Vergabekammern des Bundes 1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen. AP und S International GmbH Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) 01 DE 129515865 selec-w https://vergabe.fraunhofer.de/ https://www.fraunhofer.de t-sme none t:02 ••• ••• 66 t-oth-eea PR1146362-2050-P 2000-01-01+01:00 supplies price 80686 t-esubm pub-undert ORG-[telefon eliminat] gen-pub 2026-08-06+02:00 EUR 14 -1 42900000 CON-0001 Tullastr. 72 Kaiser-Friedrich-Straße 16 no-eu-funds quality 0 32014L0024 Freiburg [telefon eliminat] per-exa 3 4 0204:994-DOEVD-83 5 53113 15:31:29+02:00 can-standard true 53119 win-ten-val Obere Wiesen 9 Hansastraße 27c ENG https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ no t-no-eea 29 Donaueschingen TEN-0001 [telefon eliminat] medium eforms-sdk-1.13 4e0b4393-902a-48ff-b861-c78cba891910 München RES-0001 oth-int [telefon eliminat] LOT-0000 [email eliminat] TPA-0001 Einkauf Betrieb und Infrastruktur [email eliminat] vgv false 2026-08-04+02:00 [email eliminat] 35.00 DE212 DE136 [telefon eliminat] ORG-7005 DE131 ORG-7004 Bonn UBO-0001 ORG-7001 DEU tenders 79108 not-val 2.3 [telefon eliminat] DE-129515865 DE814744180 ted-esen DEA22 c31d97e9-0bbf-448d-bd66-d09515f753e6 open ORG-7006 150/2026 | Technical Specification Wafer cleaner / mask cleaner (IAF-08.3) The requirement is for a wafer and mask cleaning machine to be installed in an ISO Class 4 cleanroom and which must comply with European safety regulations for industrial equipment. The system is intended to remove particles and contaminants from wafers and lithography masks using aqueous and acidic solutions, based on the RCA cleaning process. To ensure safe operation and a long service life, the process chamber must be made of process-media-resistant material and be equipped with an extraction system and leak detection. The system must be capable of reliably removing particles larger than 250 nm from (quartz) glass or wafers in order to ensure the purity required for the processes in the Fraunhofer IAF cleanroom and not to compromise process yield. Translated with DeepL.com (free version) Price Wafer cleaner / mask cleaner (IAF-08.3) Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. technical specification Vergabekammern des Bundes AP und S International GmbH Wafer cleaner / mask cleaner (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) 01 DE 129515865 selec-w https://vergabe.fraunhofer.de/ https://www.fraunhofer.de t-sme none t:02 ••• ••• 66 t-oth-eea PR1146362-2050-P 2000-01-01+01:00 supplies price 80686 t-esubm pub-undert ORG-[telefon eliminat] gen-pub 2026-08-06+02:00 EUR 14 -1 42900000 CON-0001 Tullastr. 72 Kaiser-Friedrich-Straße 16 no-eu-funds quality 0 32014L0024 Freiburg [telefon eliminat] per-exa 3 4 0204:994-DOEVD-83 5 53113 15:31:29+02:00 can-standard true 53119 win-ten-val Obere Wiesen 9 Hansastraße 27c ENG https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ no t-no-eea 29 Donaueschingen TEN-0001 [telefon eliminat] medium eforms-sdk-1.13 4e0b4393-902a-48ff-b861-c78cba891910 München RES-0001 oth-int [telefon eliminat] LOT-0000 [email eliminat] TPA-0001 Einkauf Betrieb und Infrastruktur [email eliminat] vgv false 2026-08-04+02:00 [email eliminat] 35.00 DE212 DE136 [telefon eliminat] ORG-7005 DE131 ORG-7004 Bonn UBO-0001 ORG-7001 DEU tenders 79108 not-val 2.3 [telefon eliminat] DE-129515865 DE814744180 ted-esen DEA22 c31d97e9-0bbf-448d-bd66-d09515f753e6 open ORG-7006 150/2026