Franţa – Maşini şi aparate microelectronice – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Le prix n'est pas le seul critère d'attribution et tous les critères sont énoncés uniquement dans les documents du marché. Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par d’autres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de l’expérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur https://www.marchespublics.gouv.fr Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique. Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques. Le marché comprend également l’option à chiffrage obligatoire suivante* : - Option 1 – Formation de maintenance Niveau 1 (Chapitre 9) Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : - Option 2 – Échangeurs de chaleur (Heat exchangers) et systèmes de refroidissement (chillers) (Section 3.2.6) - Option 3 – Transformateur électrique (Power supply transformer) (Section 4.1.4) - Option 4 – Formation de maintenance Avancé (Chapitre 9) - Option 5 – Services de maintenance préventive, corrective et pièces de rechange nécessaires (Section 12.2) - Option 6 – Extension de garantie d’une année supplémentaire - Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020) Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu’à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L.55113 et suivants du Code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de deux mois à compter des mesures de publicité appropriées. GREFFE TRIBUNAL ADMINISTRATIF DE GRENOBLE Publications Office of the European Union Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE CEA Grenoble CEA/GRENOBLE / Conditions d'accès réglementées. Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides FRK24 1738[telefon eliminat] education neg-w-call 17 rue des Martyrs none 154/2026 required 04 ••• ••• 00 FAMES PILOT LINE Grenoble Mme JOLLY Nadège Luxembourg supplies price [telefon eliminat] cn-standard https://grenoble.tribunaladministratif.fr/ 2026-09-11+02:00 ORG-0000 ORG-0001 ORG-[telefon eliminat]+02:00 38054 https://www.marchespublics.gouv.fr 15 16 Grenoble Cedex 9c8a00b7-9784-4a9d-9b18-21bed90ab8c9 31712100 https://www.marches-publics.gouv.fr PUBL 32014L0024 3 2 Place de Verdun, Boîte Postale 1135 true www.cea.fr 19:43:50Z non-restricted-document no body-pl eforms-sdk-1.14 [telefon eliminat] not-allowed LOT-0001 [email eliminat] LU000 B26-02048-NJ 2026-08-10Z [email eliminat] https://op.europa.eu [email eliminat] epo-procurement-document eu-funds 77568501900298 false LUX f9ee826c-e357-4294-9aff-a1ddf9a807bd FRA 2.3 06 ••• ••• 12:00:00+02:00 ted-esen 2417