România – Dispozitive de pulverizare metalică – Echipamente pentru depuneri materiale conductoare si dielectrice

- Se acordă 0 puncte pentru ofertele la care această distanță este egala cu 500 mm, conform cerinței minime din Caietul de sarcini. - Se acordă 4 puncte pentru ofertele la care această distanță este mai mare de 500 mm și mai mica sau egala cu 750 mm. - Se acordă 8 puncte (maxim) pentru ofertele la care această distanță este mai mare de 750 mm și mai mica sau egala cu 1000 mm. - Pentru valori mai mari de 1000 mm nu se acordă punctaj suplimentar. 2.1 Sistem planetar de manipulare a substratului 2.2 Echipamentul include mai multe ferestre de observare a depunerii, din poziții diferite - Se acordă 0 puncte pentru valoarea minimă de 600 °C, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 4 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 600 °C și mai mica sau egala cu 650 °C; - Se acordă 8 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 650 °C și mai mica sau egala cu 700 °C; - Se acordă 12 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 700 °C și mai mica sau egala cu 750 °C; - Se acordă 16 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 750 °C și mai mica sau egala cu 800 °C; - Se acordă 20 puncte (maxim) pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 800 °C; - Pentru valori care depășesc pragul ce asigură punctajul maxim nu se acordă punctaj suplimentar. Punctajul se acorda astfel: a) Pentru cel mai scazut dintre preturi se acorda punctajul maxim alocat; b) Pentru celelalte preturi ofertate punctajul P(n) se calculeaza proportional, astfel: P(n) = (Pret minim ofertat / Pret n) x punctaj maxim alocat. - Se acordă 0 puncte pentru o rezoluție mai bună sau egală cu 0,1 Angstrom și mai slabă decât 0,03 Angstrom (valoare mai mare de 0,03 Angstrom), nu se acordă punctaj (0 puncte); - Se acordă 6 (maxim) puncte pentru ofertele la care sistemul de monitorizare a grosimii stratului depus are o rezolutie de 0.03 Angstrom sau superior (adică valori mai mici); - Pentru valori mai mici de 0.03 Angstrom nu se acordă punctaj suplimentar. Operator SEAP “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare standard" - Se acordă 0 puncte pentru existența unei singure ferestre de observare, conform cerinței minime din Caietul de sarcini; - Se acordă 6 puncte (maxim) pentru ofertele la care camera de depunere are exact 2 ferestre de vizualizare cu obturator, în vederea observării din poziții diferite; - Pentru mai mult de 2 ferestre de vizualizare cu obturator nu se acordă punctaj suplimentar. 2.4 Sistemul de monitorizare a grosimii stratului depus are o rezolutie superioara Str.Erou Iancu Nicolae, nr.126A, Voluntari, Ilfov 2.5 Garantie extinsa Punctajul corespunzător extinderii duratei de garantare se calculează astfel: - Pentru garanția minimă de 12 luni, stabilită prin Caietul de sarcini, nu se acordă punctaj (0 puncte); - Se acordă 2 puncte pentru o garanție extinsă la 24 luni (12 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 4 puncte pentru o garanție extinsă la 36 luni (24 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 6 puncte pentru o garanție extinsă la 48 luni (36 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 8 puncte (punctaj maxim) pentru o garanție extinsă la cel putin 60 luni (48 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 10 puncte (punctaj maxim) pentru o garanție extinsă la cel putin 72 luni (60 luni suplimentare față de minim); - Pentru o garanție extinsă la mai mult de 72 luni (mai mult de 60 luni suplimentare față de minim), nu se acordă punctaj suplimentar. I.N.C.D. pentru Microtehnologie - I.M.T Bucuresti LOTUL 1: “Echipament de depunere prin vaporizare cu fascicul de electroni (“e-beam deposition”) Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda vaporizarii cu fascicul de electroni, pentru aplicații în cercetare-dezvoltare și prototipare în domeniile microelectronicii și microsistemelor de diverse tipuri (electrice, optice, mecanice). LOTUL 2: “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare destinată dezvoltării de tehnologii noi” - Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltării și optimizarii unor procese tehnologice noi de depunere a straturilor subțiri de ordinul nanometrilor și micronilor care sa aiba puritate și calitate ridicată, conform cerințelor specifice aplicațiilor de cercetare și prototipare. LOTUL 3: “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare standard” - Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltarilor și optimizarilor standard, conform cerințelor specifice dispozitivelor microelectronice. Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltarilor și optimizarilor standard, conform cerințelor specifice dispozitivelor microelectronice. Punctajul corespunzător extinderii duratei de garantare se calculează astfel: - Pentru garanția minimă de 12 luni, stabilită prin Caietul de sarcini, nu se acordă punctaj (0 puncte); - Se acordă 2 puncte pentru o garanție extinsă de la 24 luni (12 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 4 puncte pentru o garanție extinsă de la 36 luni (24 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 6 puncte pentru o garanție extinsă de la 48 luni (36 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 8 puncte pentru o garanție extinsă de la 60 luni (48 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 10 puncte (punctaj maxim) pentru o garanție extinsă de la cel putin 72 luni (60 luni suplimentare față de minim); - Pentru o garanție extinsă la mai mult de 72 luni (mai mult de 60 luni suplimentare față de minim), nu se acordă punctaj suplimentar. - Se acordă 0 puncte pentru valoarea minimă de 5 kW, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 3 puncte pentru ofertele la care sursa de evaporare e-beam are putere mai mare de 5 kW și mai mică sau egală cu 7,5 kW. - Se acordă 6 puncte (maxim) pentru ofertele la care sursa de evaporare e-beam are putere mai mare de 7,5 kW și mai mică sau egală cu 10 kW. - Pentru valori care depășesc 10 kW nu se acordă punctaj suplimentar. 2.2 Posibilitatea de ridicare a temperaturii de încălzire a substratului peste 600 °C “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”)procesare destinată dezvoltării de tehnologii noi” 2.8 Garantie extinsa - Se acorda 0 puncte pentru ofertele care NU permit ajustarea controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat; - Se acorda 20 de puncte pentru ofertele care permit ajustarea controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat. - Se acordă 10 puncte (maxim) pentru ofertele la care sistemul de pompare (vidare) a camerei de proces poate atinge presiunea de 1 ×10⁻6 Torr sau superior (valori mai mici) într-un interval de timp de cel mult 60 de minute de la inițierea procesului de vidare. Punctajul corespunzător extinderii duratei de garantare se calculează astfel: - Pentru garanția minimă de 12 luni, stabilită prin Caietul de sarcini, nu se acordă punctaj (0 puncte); - Se acordă 2 puncte pentru o garanție extinsă la 24 luni (12 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 4 puncte pentru o garanție extinsă la 36 luni (24 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 6 puncte pentru o garanție extinsă la 48 luni (36 luni suplimentare față de minim); - Se acordă 8 puncte (punctaj maxim) pentru o garanție extinsă la cel putin 60 luni (48 luni suplimentare față de minim); - Pentru o garanție extinsă la mai mult de 60 luni (mai mult de 48 luni suplimentare față de minim), nu se acordă punctaj suplimentar. 2.1 Ajustare controlată a distanței dintre sursa magnetron și substrat 2.3 Posibilitatea de ridicare a temperaturii de încălzire a substratului peste 250 °C Consiliul National de Solutionare a Contestatiilor Pretul ofertei - Se acordă 0 puncte pentru existența unei singure ferestre de vizualizare cu obturator, conform cerinței minime din Caietul de sarcini; - Se acordă 10 puncte (maxim) pentru ofertele la care camera de depunere are exact 2 ferestre de vizualizare cu obturator, în vederea observării din poziții diferite. - Pentru mai mult de 2 ferestre de vizualizare cu obturator nu se acordă punctaj suplimentar. Roxana Popescu “Echipament de depunere prin vaporizare cu fascicul de electroni (“e-beam deposition”) 2.7 Functionalitate integrată de curățare in-situ a camerei de depunere (ex. plasma cleaning) 2.5 Sursa de evaporare e-beam oferă o putere mai mare de 5 kW Se acordă 0 puncte pentru valoarea minimă de 250 °C, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 10 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 250 °C și mai mica sau egala cu 400 °C. - Se acordă 15 puncte (maxim) pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 400 °C. - Pentru valori care depășesc pragul ce asigură punctajul maxim nu se acordă punctaj suplimentar. Str.Erou Iancu Nicolae, nr.126A APEL LASER Echipamente pentru depuneri materiale conductoare si dielectrice Serviciul juridic din cadrul INCD pentru Microtehnologie IMT Bucuresti Marilena Oancea - Se acordă 10 puncte (maxim) pentru ofertele care includ o functionalitate integrată echipamentului care să permită curățarea in-situ a camerei de depunere prin metode adecvate, cum ar fi curatare în plasmă, sau echivalent; - Pentru ofertele care nu includ această funcționalitate nu se acordă punctaj (0 puncte). “Echipament de depunere prin metoda pulverizării catodice în vid (“magnetron sputtering”) - procesare destinată dezvoltării de tehnologii noi” - Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda pulverizarii catodice magnetron, fiind destinat dezvoltării și optimizarii unor procese tehnologice noi de depunere a straturilor subțiri de ordinul nanometrilor și micronilor care sa aiba puritate și calitate ridicată, conform cerințelor specifice aplicațiilor de cercetare și prototipare. 2.4 Garantie extinsa - Se acordă 0 puncte pentru ofertele care nu includ un sistem planetar de manipulare a substraturilor; - Se acordă 15 puncte pentru ofertele care includ un sistem planetar de manipulare a substraturilor, capabil să asigure mișcare dublă: fiecare substrat este montat pe un suport propriu care se rotește în jurul axei sale, în timp ce ansamblul suporturilor se rotește simultan în jurul unei axe centrale. - Se acordă 0 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura de 250°C, stabilită prin Caietul de sarcini; - Se acordă 4 puncte pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 250 °C și mai mica sau egala cu 400 °C; - Se acordă 8 puncte (maxim) pentru ofertele la care încălzirea substratului se poate realiza la o temperatura mai mare de 400 °C; - Pentru valori care depășesc pragul ce asigură punctajul maxim nu se acordă punctaj suplimentar Echipamentul va fi utilizat pentru realizarea de depuneri sub formă de straturi subțiri de ordinul nanometrilor si micronilor de materiale precum oxizi, metale și materiale dielectrice prin metoda vaporizarii cu fascicul de electroni, pentru aplicații în cercetare-dezvoltare și prototipare în domeniile microelectronicii și microsistemelor de diverse tipuri (electrice, optice, mecanice). - Se acordă 8 puncte (maxim) pentru ofertele la care sistemul de pompare (vidare) a camerei de proces poate atinge presiunea de 1 ×10⁻6 Torr sau superior (valori mai mici) într-un interval de timp de cel mult 60 de minute de la inițierea procesului de vidare. 2.1 Distanța dintre planul substratului și sursa de material este mai mare de 500 mm 2.4 Performanța sistemului de pompare (timp de atingere a vidului înalt) 2.3 Performanța sistemului de pompare (timp de atingere a vidului înalt) 2.6 Performanța sistemului de pompare (timp de atingere a vidului înalt) 01 education t-sme none 2026-09-17+02:00 020976 supplies price 19[telefon eliminat] RO1154 15 1920000 CON-0002 CON-0001 CON-0003 quality 2026-09-16+03:00 32014L0024 0 1 per-exa 2 18[telefon eliminat] [telefon eliminat] can-standard 888 ORG-9000 8 20 REF_OF: CAN1174461/LOT-0003/CIF: RO 15595373 23 [email eliminat] body-pl t-no-eea 29 TEN-0003 [telefon eliminat] [email eliminat] TEN-0002 TEN-0001 eforms-sdk-1.13 2000-01-01+02:00 RES-0002 RES-0004 http://www.cnsc.ro https://www.adr.gov.ro/ RES-0003 REF_OF: CAN1174461/LOT-0002/CIF: RO 15595373 1897[telefon eliminat] Voluntari eu-funds 180/2026 14[telefon eliminat]+03:00 https://www.e-licitatie.ro 5650000 [email eliminat] 1700000 Strada Mihăilescu Vintilă, Nr. 15, Sector: 6 42665000 2.3 [telefon eliminat]db3bec-ac05-4b0b-b92b-6c188b8946bc 40 ted-esen open [email eliminat] selec-w Strada: Erou Iancu Nicolae, nr. 126A 2025/Anexa 27/28 t-oth-eea ORG-0004 14:06:44.0000000+03:00 ORG-0005 t-esubm Strada: Italiana, nr. 22, Sector: -, Judet: Bucuresti, Localitate: Bucuresti, Cod postal: - 060394 ORG-0001 ORG-0002 RO42283735 Bucuresti https://ww.imt.ro RO1154_3 RO 15595373 RON 030084 12:01:40.0000000+03:00 true ROU [email eliminat] 20329980 Strada Erou Iancu Nicolae, nr.126A no 1749000 medium [telefon eliminat] LOT-0003 LOT-0002 [telefon eliminat] https://www.apellaser.ro 1950000 TPA-0004 d861748b-34dd-4300-af0a-b51edf6633a1 [telefon eliminat] false LOT-[telefon eliminat] tenders 5495000 REF_OF: CAN1174461/LOT-0004/CIF: RO 15595373 Str. Stavropoleos nr. 6, sector 3 RO321 RO322 https://www.imt.ro