Germania – Echipament electromecanic – Reaktives Ionenätzen

https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteria Preis Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog Reaktives Ionenätzen Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg Oxford Instruments GmbH Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Aufgrund der mit der ausgeschriebenen Leistung verbundenen zu erwartenden langen Lieferzeit und der Vorgabe des Drittmittelgebers zur befristeten Verfügbarkeit der bewilligten Mittel ergibt sich die Notwendigkeit, die Vergabe schnellstmöglich durchzuführen, da ansonsten die bewilligten Drittmittel nicht mehr im vollen Umfang zur Verfügung stehen werden. Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert. 01 body-pl-ra education 184/2026 2026-10-13+02:00 selec-w Ansbach 06122937100 65205 84acda79-6802-4c30-a1f5-9c6ee81cb304 2b51b532-b52a-4117-aa1f-2fbb2be52803 none 2026162687 Wiesbaden 91052 https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html supplies price [email eliminat] ORG-0003 ORG-[telefon eliminat] ORG-0005 ORG-0001 [telefon eliminat] Konrad-Zuse-Straße 3-5 ORG-0002 EUR large 91522 DE714 31720000 CON-0001 Erlangen 2026-09-18+02:00 ••• ••• 21+02:00 ••• ••• 23+02:00 no-eu-funds quality 32014L0024 1 per-exa [telefon eliminat]:994-DOEVD-83 4b32a1ce-7169-4886-876c-421446eac7eb fd2b2d3d-a042-428f-b871-894660c4e7ff can-standard true [telefon eliminat] Promenade 27 no 2026-09-22+02:00 29 11:26:04+02:00 CON-0001 - Oxford Instruments GmbH TEN-0001 [email eliminat] eforms-sdk-1.13 RES-0001 LOT-0001 [email eliminat] [email eliminat] TPA-0001 Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien 2026000322 vgv c0f12e87-76f1-4468-90ef-036d199560d7 22520000 false 0.01 https://www.auftraege.bayern.de/ 06 ••• ••• 30 DE252 Bonn DE251 DEU tenders a215d5ee-7b2b-4ffd-8397-e7bbc0200c3e 2.3 [telefon eliminat] ted-esen DEA22 open 6c9f0901-f60f-4b97-98f8-aaf1c1ca56cb