Germania – Maşini şi aparate microelectronice – Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P

Preis Technische Ausführung Applied Materials GmbH Technical Specification Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 1x Fully automated tool CVD Die folgende Ausrüstungsspezifikation definiert einen vollautomatischen Cluster für die CVD-Abscheidung hochwertiger dielektrischer Schichten wie SiO₂ mit ausgezeichneter Liner-Konformität für extrem hohe Aspektverhältnisse, wie sie in TSV-Anwendungen zum Einsatz kommen, sowie mit vollständiger, porenfreier und nahtloser Füllung winziger, unregelmäßig geformter Hohlräume (Lücken) mit komplexen Profilen und extremen Abmessungen. Vor dem Prozess werden die Wafer in Front Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die vom Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen gesetzt werden. Das Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: • Entnahme bestimmter Wafer aus dem FOUP • Durchführung von SACVD- und/oder PE-Prozessen • Rückführung der Wafer in die Ausgangsposition in den FOUP Die Programmierung von Rezepturen muss innerhalb eines geeigneten Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung (F&E) erforderlich ist. Das zu beschaffende System mit neuen SACVD- und PECVD-Modulen der neuesten Generation für dielektrische Prozesse ermöglicht die Abscheidung von Oxidschichten in TSVs mit hohem Aspektverhältnis (Liner-Füllung), Damaszener-Oxid-RDL (z. B. für das Hybridbonden) sowie dielektrische Spaltfüllschichten im Hinblick auf das Die-to-Wafer-Bonden. Dabei ermöglicht die Handhabung die Bearbeitung von verdünnten und/oder gebondeten Wafern sowie Glaswafern (2,5D/3D-Systeme) mit starker Verwindung und Wölbung. Optionale Features: - Substratspezifikation LV-Pos.1.25 - SA-/PE-CVD, dielektrische Liner, TSVs und Tranches, hohes Seitenverhältnis LV-Pos. 3.17 - PECVD-Oxid, dielektrische Lückenfüllung bei niedrigen Temperaturen für unregelmäßige und komplexe Profile LV-Pos. 4.17 Vergabekammern des Bundes Fully automated tool CVD (IZM-136) Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) siehe Begründungsschreiben / Patente Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P 01 DE 129515865 neg-wo-call Buchenstrasse 16 b selec-w https://vergabe.fraunhofer.de/ https://www.fraunhofer.de t-sme none Dresden-Moritzburg t:02 ••• ••• 90 t-oth-eea 2000-01-01+01:00 01097 supplies price 80686 t-esubm pub-undert 2026-10-06+02:00 ORG-[telefon eliminat] gen-pub EUR -1 large 31712100 DED2E CON-0001 Kaiser-Friedrich-Straße 16 quality 0 32014L0024 1 [telefon eliminat] per-exa 0204:994-DOEVD-83 2d6d8cb4-efd2-4bf8-b017-97622a3c070b 53113 can-standard true 53119 win-ten-val DED21 Hansastraße 27c DE129287217 [telefon eliminat]/2026 https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ no Dresden t-no-eea 29 49bbf503-8edc-4f59-88a5-4eb22f341fb5 additional TEN-0001 [email eliminat] [telefon eliminat] eforms-sdk-1.13 München 2026-10-08+02:00 RES-0001 [telefon eliminat] LOT-0000 PR1246546-3460-P [email eliminat] 2027-12-10+01:00 TPA-0001 Einkauf Betrieb und Infrastruktur [telefon eliminat] [email eliminat] eu-funds 15:43:01+02:00 vgv false [email eliminat] 35.00 ••• ••• 06+01:00 DE212 01468 ORG-7005 ORG-7004 Bonn UBO-0001 ORG-7001 DEU tenders not-val 2.3 [telefon eliminat] DE-129515865 law-enf ted-esen DEA22 ORG-7006