Germania – Maşini şi aparate microelectronice – Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. Preis inkl. aller Optionen 1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das Messgerät ist unverzichtbar für die Prozesskontrolle bei der Herstellung fortschrittlicher Gehäuse und Verbindungen, einschließlich der Charakterisierung von Cu-Strukturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich nach dem CMP-Prozess in hochintegrierten, auf Chiplets basierenden 2,5D/3D- und quasi-monolithischen Gehäusearchitekturen. Das Gerät ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine starke Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Als Wafer-Substrate kommen Silizium und/oder Glas mit Dicken von bis zu 2,5 mm zum Einsatz. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: - Laden der vorgesehenen Wafer aus den FOUPs - Ausführen der Messaufgaben - Zurückbringen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUPs Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen in Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird vorausgesetzt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Anlage mit allen unten beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erbringen kann. Referenz von mindestens 45 in Betrieb genommenen Geräten im Bereich der OCD-Metrologie mit vergleichbarer tech-nologischer Funktionalität nicht älter als drei Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe zur Wafergröße 200/300mm, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftragge-ber (Forschung, Industrie, andere öffent-liche Auftraggeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausge-schriebenen Leistung vergleichbar sind. Technische Beschreibung Reinraum (tbd) An der Bartlake 5 01109 Dresden Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre - Dieses Kriterium ist NICHT das einzige Eignungskriterium. Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen der Ausschlussgründe nach §123 und §124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014 Preis Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) Darstellung der Firma Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder Siehe Vergabeunterlagen Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vergabekammern des Bundes Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) 01 DE 129515865 exg-mis-sanction TenderDoc allowed 65adb093-66ff-4c61-b051-81181474b00a none exg-mis-prep-confl t:02 ••• ••• 90 exg-mis-distortion exg-sitn-other supplies price gen-pub exg-sitn-as-susp 16 late-all Kaiser-Friedrich-Straße 16 quality 120 32014L0024 per-exa exg-mis-bre-soc-law 3 PR1320279-3460-P exg-crim-fraud Hansastraße 27c non-restricted-document [telefon eliminat] https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ slc-abil-staff-yrly-avg-mp [telefon eliminat] eforms-sdk-1.13 exg-sitn-insolvency [telefon eliminat]+01:00 epo-sub-espd slc-abil-ref-work Einkauf Betrieb und Infrastruktur eu-funds exg-mis-partic-confl not-requ [email eliminat] DE212 exg-mis-bre-lab-law 2.3 DE-129515865 ted-esen 2026-11-05+01:00 https://vergabe.fraunhofer.de/ https://www.fraunhofer.de neg-w-call exg-crim-part 5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6 80686 https://vergabe.fraunhofer.de cn-standard pub-undert 65.00 exg-natl-bre-nat-law exg-crim-traffick 31712100 exg-crim-terror epo-notice exg-pmt-bre-tax 08:00:00+01:00 [telefon eliminat]/2026 0204:994-DOEVD-83 2026-12-07+01:00 53113 true 53119 12:47:16+01:00 DED21 ENG no Dresden München not-allowed exg-mis-misrepresent LOT-0000 exg-sitn-liq-admin [email eliminat] slc-stand-ratio exg-mis-misconduct [email eliminat] epo-procurement-document exg-mis-bre-env-law 01109 vgv false exg-pmt-bre-ssc https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0 35.00 ORG-7005 exg-crim-laund ORG-7004 Bonn slc-stand-other performance ORG-7001 DEU [telefon eliminat] exg-crim-corrpt DEA22 ORG-7006 | Company Profile Minimum information: Year founded, key milestones in the company's history, number of employees, what the company manufactures / what services it provides --> Please provide all information in text form; NO links or images cleanroom (tbd) An der Bartlake 5 01109 Dresden In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under "Tendering terms". Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated. Applications for review are not permitted if more than 15 calendar days have passed since receipt of notification from the contracting authority that it is unwilling to redress an objection (section 160 (3) sentence 1 no. 4 of the German Competition Act (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen, GWB)). Additionally, applications for review are not permitted if an award has been made before the public procurement tribunal has informed the contracting authority about the application for review (sections 168 (2) sentence 1 and 169 (1) GWB). Contracts may be awarded 15 calendar days after the tenderer information pursuant to section 134 (1) GWB has been sent. If the information is sent electronically or by fax, the period shall be reduced to ten calendar days (section 134 (2) GWB). The period shall begin on the day after which the contracting authority sends the information; the date of receipt by the tenderer and candidate in question shall be irrelevant. The admissibility of a review application also requires that the applicant notified the contracting authority about the claimed violations of public procurement provisions within ten calendar days of becoming aware of them (section 160 (3) sentence 1 no. 1 GWB). Violations of public procurement provisions which become apparent from the tender notice must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender specified in the notice (section 160 (3) sentence 1 no. 2 GWB). Violations of public procurement provisions which only become apparent from the procurement documents must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender (section 160 (3) sentence 1 no. 3 GWB). Technical Specification Preis inkl. aller Optionen 1. Self-declaration regarding the absence of grounds for exclusion under Sections 123 and 124 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB) 2. Self-declaration (EU) No. 833/2014 Revenue for the last 3 fiscal years - This is NOT the only eligibility criterion. You can find the complete list of eligibility criteria here: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0 Price References for at least 45 devices commissioned in the field of OCD metrology with comparable technological functionality, no older than three years (brief description of the device, mandatory specification of wafer size 200/300 mm, customer name). If, for data protection reasons, you are not permitted to name your customers, please categorize your client (research, industry, other public clients) and confirm that your references are comparable to the services specified in the request for proposals. Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) 1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) The following equipment specification defines the requirements for a fully automated metrology tool to measure critical dimension (CD) structures, film thickness and Cu dishing on 300 mm and 200 mm wafers. This investment expands the metrology capability for automated, non-destructive measurement of smaller feature sizes and surface topography. The tool is essential for process control in advanced packaging and interconnect fabrication, including post-CMP characterization of Cu structures with sub-micrometer feature sizes in highly integrated, chiplet-based 2.5D/3D and quasi-monolithic package architectures. The equipment is compatible with 3D wafer stacks exhibiting high warp/bow. Wafer substrates are silicon and/or glass, with thicknesses up to 2.5 mm. Before processing, wafers are delivered to the tool in front-opening unified pods (FOUPs), which the operator manually places on the respective load ports. The new tool must be able to perform the following sequence of steps fully automatically: - Load designated wafers from the FOUP(s) - Execute metrology tasks - Return wafers to their original positions in the FOUP(s) Recipe programming must support a sufficiently wide range of options and parameters to meet research and development (R&D) needs. It is required that the equipment continuously performs the intended functions without interruptions or failures, in accordance with all requirements specified in this document. Furthermore, the equipment must be supplied with all items described below that are necessary for it to deliver the intended functions and capabilities in compliance with all requirements set out in this document. Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vergabekammern des Bundes All relevant mandatory and discretionary grounds for exclusion established by national law apply. See procurement documents Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) 01 DE 129515865 exg-mis-sanction TenderDoc allowed 65adb093-66ff-4c61-b051-81181474b00a none exg-mis-prep-confl t:02 ••• ••• 90 exg-mis-distortion exg-sitn-other supplies price gen-pub exg-sitn-as-susp 16 late-all Kaiser-Friedrich-Straße 16 quality 120 32014L0024 per-exa exg-mis-bre-soc-law 3 PR1320279-3460-P exg-crim-fraud Hansastraße 27c non-restricted-document [telefon eliminat] https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ slc-abil-staff-yrly-avg-mp [telefon eliminat] eforms-sdk-1.13 exg-sitn-insolvency [telefon eliminat]+01:00 epo-sub-espd slc-abil-ref-work Einkauf Betrieb und Infrastruktur eu-funds exg-mis-partic-confl not-requ [email eliminat] DE212 exg-mis-bre-lab-law 2.3 DE-129515865 ted-esen 2026-11-05+01:00 https://vergabe.fraunhofer.de/ https://www.fraunhofer.de neg-w-call exg-crim-part 5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6 80686 https://vergabe.fraunhofer.de cn-standard pub-undert 65.00 exg-natl-bre-nat-law exg-crim-traffick 31712100 exg-crim-terror epo-notice exg-pmt-bre-tax 08:00:00+01:00 [telefon eliminat]/2026 0204:994-DOEVD-83 2026-12-07+01:00 53113 true 53119 12:47:16+01:00 DED21 ENG no Dresden München not-allowed exg-mis-misrepresent LOT-0000 exg-sitn-liq-admin [email eliminat] slc-stand-ratio exg-mis-misconduct [email eliminat] epo-procurement-document exg-mis-bre-env-law 01109 vgv false exg-pmt-bre-ssc https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0 35.00 ORG-7005 exg-crim-laund ORG-7004 Bonn slc-stand-other performance ORG-7001 DEU [telefon eliminat] exg-crim-corrpt DEA22 ORG-7006